Spektrometria XRF służy do identyfikacji pierwiastków w materiałach stałych lub ciekłych i określenia ich stężenia. Pierwiastki są wykrywane na podstawie charakterystycznej długości fali (WD XRF) lub energii (ED XRF) emisji wtórnego promieniowania rentgenowskiego. Stężenie danego pierwiastka określane jest za pomocą pomiaru intensywności linii charakterystycznej dla niego.
